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祝賀!大尺寸硅片超精密磨削技術與裝備項目榮獲2019年國家科學技術獎

關鍵詞 磨削技術|2020-01-13 10:05:35|來源 中國磨料磨具網
摘要 中國磨料磨具網訊1月10日,2019年度國家科學技術獎在京揭曉,共評選出296個項目和12名科技專家。其中,國家自然科學獎授獎項目46項,國家技術發明獎授獎項目65項,國家科學技術...

中國磨料磨具網訊 1月10日,2019年度國家科學技術獎在京揭曉,共評選出296個項目和12名科技專家。其中,國家自然科學獎授獎項目46項,國家技術發明獎授獎項目65項,國家科學技術進步獎授獎項目185項。

記者從獲獎名單中了解到,“大尺寸硅片超精密磨削技術與裝備” 項目榮獲2019年度國家技術發明二等獎,該項目主要完成人為大連理工大學的康仁科、董志剛、朱祥龍和有研半導體材料有限公司、鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司、無錫機床股份有限公司等單位。

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據了解,“大尺寸硅片超精密磨削技術與裝備”項目主要研究內容為磨床結構設計與分析、金剛石砂輪研制、硅片面型控制系統、硅片高效低損傷超精密磨削工藝等,并研制出國內首臺大尺寸硅片雙主軸三工位全自動磨床和大尺寸硅片磨拋一體化機床等設備。

項目主要完成人,大連理工大學朱祥龍教授表示,單晶硅片是集成電路最主要的襯底材料,超精密磨削技術在硅片的平整化和背面減薄加工得到廣泛應用?!按蟪叽绻杵苣ハ骷夹g與裝備”填補國內φ300mm硅片超精密磨削技術和設備的空白,為硅片高精度、高質量和高效率的工業化生產提供技術支持。

關于國家科學技術獎

國家科學技術獎每年評審一次,根據最新發布的《關于深化科技獎勵制度改革的方案》,規定“國家三大獎”每年授獎總數不超過300項。國家科學技術獎包括國家自然科學獎、國家技術發明獎、國家科學技術進步獎,即大家常說的“國家三大獎”。還包括授予外籍科學家或外國組織的中華人民共和國國際科學技術合作獎,和分量最重的國家最高科學技術獎。

其中,國家最高科學技術獎是我國科技界最高獎項。2019年國家最高科學技術獎分別頒給了中國船舶集團所屬719所名譽所長黃旭華院士、中國科學院大氣物理研究所曾慶存院士。

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